滨松HAMAMATSU C10323-02E Optical NanoGauge 膜厚测量系统
特点
- 微视野厚度测量
- 高速度和高精度
- 分析光学常数（n、k）
- 提供外部控制
详细参数
| 型号 | C10323-02E |
|---|---|
| 可测量的薄膜厚度范围（玻璃） | 20 nm 至 50 μm① |
| 测量重现性（玻璃） | 0.02 nm② |
| 测量精度（玻璃） | ±0.4%③ |
| 光源 | 卤素光源 |
| 测量波长 | 400 nm 至 1100 nm |
| 光斑尺寸 | φ8 μm 至 φ80 μm④ |
| 工作距离 | 请参阅物镜列表 |
| 可测量层数 | 最多 10 层 |
| 分析 | FFT 分析、拟合分析、光学常数分析 |
| 外部控制功能 | RS-232C、PIPE、以太网 |
| 接口 | USB 2.0 |
| 电源 | AC200 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 约 250 VA |
①当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
② 测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差（容差）。
③ 取决于使用的光学系统或物镜放大率。
④ VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。
尺寸
常见问题1 2 3
